基于白光干涉的精细线路板表面形貌测量方法-激光技术

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基于白光干涉的精细线路板表面形貌测量方法

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研究背景与问题

随着电子制造业的快速发展，精细线路板在生产中的应用日益广泛。然而，传统的测量方法在应对线路板表面形貌测量时存在诸多挑战。特别是当线宽较窄、表面粗糙度较高时，传统的测量技术往往难以克服杂散光和外部环境干扰等因素的影响，从而影响测量精度和可靠性。因此，本研究旨在解决这一问题，提出一种新型的白光干涉测量方法，以实现对精细线路板表面形貌的高精度测量。

研究方法

本研究提出了一种基于白光干涉的精细线路板表面形貌测量方法。首先，针对传统测量中存在的杂散光和环境干扰问题，基于移动正弦和移动平均的思想，构建了一种适用于白光干涉的时域信号预处理方法。该方法能够有效地降低线宽窄和表面粗糙度高产生的杂散光以及环境扰动等不利因素的影响。其次，通过对干涉图像的正弦信号变化规律和随机噪声分布特征进行分析，实现了对图像序列内相位差的精确提取。最后，结合相位差信息，采用迭代算法对线路板表面形貌进行重建，实现了高精度测量。

核心结果

本研究构建的白光干涉测量方法，在实验中表现出良好的性能。与传统的测量方法相比，该方法在降低杂散光和环境干扰方面具有显著优势。具体实验结果表明，该测量方法能够实现对精细线路板表面形貌的高精度重建，测量精度可达亚微米级。此外，实验还验证了该方法在不同环境条件下具有较高的稳定性和可靠性，为精细线路板的表面形貌测量提供了一种有效的新途径。

结论与意义

本研究提出的基于白光干涉的精细线路板表面形貌测量方法，通过构建时域信号预处理方法，有效地解决了传统测量方法在杂散光和外部环境干扰方面的问题。该方法能够实现对精细线路板表面形貌的高精度测量，具有重要的理论意义和应用价值。首先，该研究为电子制造业提供了新的表面形貌测量技术，有助于提高线路板生产的质量和效率。其次，该研究成果有助于推动白光干涉技术在其他领域的应用，为相关研究提供了有益的借鉴。

文章来源：《激光技术》网址: http://www.jgjszzs.cn/qikandaodu/2026/1027/326.html